技術(shù)原理:該產(chǎn)品適用于氣相法制備石墨烯材料,通過利用微波加熱技術(shù),通過微波能激發(fā)等離子體,導(dǎo)入氣相成分,進行微波等離子體氣相沉淀,在催化劑基底上生成石墨烯類碳材料產(chǎn)品,適用于高純度碳材料制備,也適用于其他以含碳?xì)庀嗖牧蠟樵系奈⒉ǖ入x子體處理工藝。
產(chǎn)品詳情
1、本產(chǎn)品采用氣相法制備石墨烯材料方式,采用微波熱等離子體技術(shù),適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產(chǎn)。
2、本產(chǎn)品等離子生長腔體采用潔凈石英管結(jié)構(gòu),避免生產(chǎn)過程中的雜質(zhì)污染,確保產(chǎn)品品質(zhì)。
3、本產(chǎn)品設(shè)計連續(xù)氣相生長功能,采用頂部4路進氣混氣,底部排料的結(jié)構(gòu)。
4、本產(chǎn)品采用真空和微正壓系統(tǒng)設(shè)計,反應(yīng)室與外界密封設(shè)計,適合微波等離子體狀態(tài)。
5、本產(chǎn)品設(shè)置真空管路和防爆泄壓結(jié)構(gòu),支持真空、氣氛和微正壓環(huán)境
6、本產(chǎn)品采用微波等離子體技術(shù) ,功率智能調(diào)節(jié),工藝性更穩(wěn)定。
7、本產(chǎn)品采用PLC程序控制,觸摸屏操作,工藝路線可實現(xiàn)自動化控制,工藝數(shù)據(jù)可讀取。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 |
氣相石墨烯生長爐 |
型號 |
MCG-M10HBP |
技術(shù)原理 |
微波等離子體(MPCVD) |
設(shè)備形式 |
立式管道型,多路氣氛,高真空密封 |
進出料形式 |
進料:氣態(tài)/ 出料:固態(tài) |
反應(yīng)區(qū)尺寸 |
Φ200*500 mm |
微波系統(tǒng) |
微波功率10kW/2450MHz,系統(tǒng)水冷 |
產(chǎn)成品 |
石墨烯粉體,產(chǎn)量和特性依據(jù)具體工藝要求 |
監(jiān)控視窗 |
垂直三個觀察窗 |
控制方式 |
PLC控制系統(tǒng),彩色觸摸屏操作,多參數(shù)顯示 |
安全措施 |
產(chǎn)品氣體管路系統(tǒng)防爆設(shè)計 |
微波防護 |
微波泄漏量:<5mW/cm2 (國標(biāo)) |
設(shè)備外尺寸 |
900×900×1700mm(長×寬×高) |